Логин
 
 
 
 

Статьи и обзоры

Follow idexpert_ru on Twitter

8-я Всероссийская конференция «Информационные технологии в производстве»
23-й Форум «Информационные технологии в финсекторе»

 
 

Специальные газы необходимого для микроэлектронной отрасли уровня чистоты теперь получают в России

28.12.2022

Собственное производство высокочистых газов позволит заменить импортные материалы, используемые при выпуске отечественных электронных компонентов, и создавать высокотехнологичные изделия, востребованные на рынке микроэлектроники



Холдинг «Росэлектроника» Госкорпорации Ростех разработал технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, применяемых при изготовлении современной микроэлектронной продукции.

Многие специальные газы необходимого для микроэлектронной отрасли уровня чистоты в России до настоящего времени не изготовлялись. Входящее в «Росэлектронику» НПП «Салют» разработало технологии промышленного производства моносилана, арсина, фосфина, аммиака, бора трехфтористого, бора треххлористого.

«Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных - фтор, трехфтористый азот или бор. Например, арсин и фосфин служат для изменения проводимости материала, что позволяет регулировать электрические свойства полупроводников. Моносилан широко применяется при изготовлении подложек и технологических слоев микросхем. Новые технологии «Росэлектроники» призваны заместить зарубежные материалы, которые использовались в производстве микроэлектронных изделий», – сказал исполнительный директор Ростеха Олег Евтушенко.

На НПП «Салют» созданы технологии получения смесей газов с определенным соотношением по составу и содержанию основных примесей, поставляемых в баллонах высокого давления, и арсина, фосфина, бора трехфтористого, поставляемых в баллонах низкого давления.

Для решения задачи сохранения степени чистоты полученных материалов при их транспортировке и хранении на предприятии предложили использовать специальную подготовку баллонов перед наполнением высокочистыми газами. Такое решение позволяет сохранять требуемую чистоту материалов в баллонах низкого давления не менее 6 месяцев, а в баллонах высокого давления – не менее 12 месяцев.

«Технологические газы используются на каждом этапе изготовления полупроводниковых приборов. В России до настоящего момента отсутствовало производство многих специальных газов требуемого уровня чистоты. Наше предприятие может удовлетворить потребности российского рынка в высокочистых газах, а при необходимости мы готовы увеличить объемы производства. Кроме того, в настоящее время наши специалисты продолжают совершенствовать технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, а также ведут разработку новых решений для получения материалов для микроэлектроники», - рассказал генеральный директор НПП «Салют» Александр Бушуев.

Подписывайтесь на наши новости в Telegram: https://t.me/idexpert

Читайте нас на VK: https://vk.com/idexpert_ru

Источник:  Пресс-служба Росэлектроники


Рейтинг статьи

Возврат к списку



Материалы по теме:

Статьи и обзоры
Новости рынка и технологий

Продукты автоматической идентификации

Postek EM210
Postek OX
Postek OX
Высокопроизводительные промышленные принтеры
Chainway C3000 UHF RFID
Chainway C3000 UHF RFID
Ручной UHF RFID считыватель промышленного класса на базе Windows CE
Chainway C72 UHF RFID
Chainway C72 UHF RFID
Мобильный UHF RFID считыватель на ОС Android
Chainway C71
Chainway C71
Широкий набор функций, гибкое применение во множестве отраслей
Seaory S20R
Seaory S20R
Настольный карточный принтер для перезаписи карт
Seaory S22K
Seaory S22K
Карточный двусторонний киоск-принтер
Chainway C66
Chainway C66
Мобильный компьютер на базе OC Android
Postek серия Ge
Postek серия Ge
Легкий промышленный принтер этикеток с UHF RFID кодированием

Все продукты >>>

 

Проекты и решения

ITECH x RU – новая экспозиция информационных технологий и решений для цифровой трансформации на выставке ExpoElectronicaITECH x RU – новая экспозиция информационных технологий и решений для цифровой трансформации на выставке ExpoElectronica

События

Международная промышленная выставка «EXPO EURASIA KAZAKHSTAN 2024»
Вторая международная промышленная выставка «EXPO-RUSSIA IRAN 2024»

Опрос


Цифровая индустрия промышленной России - ЦИПР


Конференция "Развитие отрасли беспилотной авиации в России"

Комментарии