|
|
Поиск
| ||
|
| ||
Статьи и обзоры |
 Специальные газы необходимого для микроэлектронной отрасли уровня чистоты теперь получают в России
28.12.2022
Собственное производство высокочистых газов позволит заменить импортные материалы, используемые при выпуске отечественных электронных компонентов, и создавать высокотехнологичные изделия, востребованные на рынке микроэлектроники Холдинг «Росэлектроника» Госкорпорации Ростех разработал технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, применяемых при изготовлении современной микроэлектронной продукции.Многие специальные газы необходимого для микроэлектронной отрасли уровня чистоты в России до настоящего времени не изготовлялись. Входящее в «Росэлектронику» НПП «Салют» разработало технологии промышленного производства моносилана, арсина, фосфина, аммиака, бора трехфтористого, бора треххлористого. «Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных - фтор, трехфтористый азот или бор. Например, арсин и фосфин служат для изменения проводимости материала, что позволяет регулировать электрические свойства полупроводников. Моносилан широко применяется при изготовлении подложек и технологических слоев микросхем. Новые технологии «Росэлектроники» призваны заместить зарубежные материалы, которые использовались в производстве микроэлектронных изделий», – сказал исполнительный директор Ростеха Олег Евтушенко. На НПП «Салют» созданы технологии получения смесей газов с определенным соотношением по составу и содержанию основных примесей, поставляемых в баллонах высокого давления, и арсина, фосфина, бора трехфтористого, поставляемых в баллонах низкого давления. Для решения задачи сохранения степени чистоты полученных материалов при их транспортировке и хранении на предприятии предложили использовать специальную подготовку баллонов перед наполнением высокочистыми газами. Такое решение позволяет сохранять требуемую чистоту материалов в баллонах низкого давления не менее 6 месяцев, а в баллонах высокого давления – не менее 12 месяцев. «Технологические газы используются на каждом этапе изготовления полупроводниковых приборов. В России до настоящего момента отсутствовало производство многих специальных газов требуемого уровня чистоты. Наше предприятие может удовлетворить потребности российского рынка в высокочистых газах, а при необходимости мы готовы увеличить объемы производства. Кроме того, в настоящее время наши специалисты продолжают совершенствовать технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, а также ведут разработку новых решений для получения материалов для микроэлектроники», - рассказал генеральный директор НПП «Салют» Александр Бушуев. Подписывайтесь на наши новости в Telegram: https://t.me/idexpert Читайте нас на VK: https://vk.com/idexpert_ru Источник: Пресс-служба Росэлектроники Рейтинг статьи 
Оставить комментарий
Материалы по теме:
Статьи и обзоры
Новости рынка и технологий
Продукты автоматической идентификации
Все продукты >>> |
Проекты и решенияСобытияОпросКомментарии |
| © 2009, ID-EXPERT Cообщество профессионалов в области ID Является средством массовой информации (18+) | Политика конфиденциальности Разработка сайта "ИИ-студия АПЕТ" |
||||||||||
